德國AlphaPlasma等離子去膠機(jī)是專門設(shè)計(jì)用來滿足晶圓批處理或單晶片處理，具有廣泛應(yīng)用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。

　　

　　德國AlphaPlasma等離子去膠機(jī)片匣導(dǎo)軌傳送系統(tǒng)：

　　

　　全自動，無堵賽設(shè)計(jì)，集成到等離子主系統(tǒng)

　　

　　片匣通過2層傳送帶上下載片，提前上載或下載片

　　

　　通過使用可更換的輸送板，搬運(yùn)系統(tǒng)可以支持較大范圍的基片尺寸、框架、舟等