等離子去膠機(jī)是我們在微波等離子處理工藝中的新產(chǎn)品。該批次式晶圓灰化設(shè)備成本低廉、尺寸適中，特別適用于工廠、科研院所等領(lǐng)域。

　　等離子去膠機(jī)操作規(guī)程：

　　1、自動切割小車應(yīng)經(jīng)空車運轉(zhuǎn)，并選定切割速度；

　　2、使用釷、鎢電極應(yīng)符合JGJ33-2001第12.7.8條規(guī)定；

　　3、高頻發(fā)生器應(yīng)設(shè)有屏蔽護(hù)罩，用高頻引弧后，應(yīng)立即切斷高頻電路；

　　4、應(yīng)檢查并確認(rèn)電源、氣源、水源無漏電、漏氣、漏水，接地或接零安全可靠；

　　5、操作人員應(yīng)站在上風(fēng)處操作?？蓮墓ぷ髋_下部抽風(fēng)，并宜縮小操作臺上的敞開面積；

　　6、小車、工件應(yīng)放在適當(dāng)位置，并應(yīng)使工件和切割電路正極接通，切割工作面下應(yīng)設(shè)有溶渣坑；

　　7、應(yīng)根據(jù)工件材質(zhì)、種類和厚度選定噴嘴孔徑，調(diào)整切割電源、氣體流量和電極的內(nèi)縮量；

　　8、當(dāng)空載電壓過高時，應(yīng)檢查電器接地、接零和割炬手把絕緣情況，應(yīng)將工作臺與地面絕緣，或在電氣控制系統(tǒng)安裝空載斷路斷電器；

　　9、操作人員必須戴好防護(hù)面罩、電焊手套、帽子、濾膜防塵口罩和隔音耳罩。不戴防護(hù)鏡的人員嚴(yán)禁直接觀察等離子弧，裸露的皮膚嚴(yán)禁接近等離子弧。

　　等離子去膠機(jī)的典型應(yīng)用

　　去除光刻膠

　　晶圓打膠

　　濕法刻蝕前的晶圓清潔

　　去除SU-8

　　刻蝕鈍化層

　　失效分析中的器件開封

　　清潔和表面活化

　　化學(xué)微量分析中的低溫材料灰化

　　過濾器和濾膜的清潔