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SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動探針臺，設(shè)計(jì)靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持多200mm晶圓的手動和半自動探測。
MicroXact的半自動探針臺提供多種選擇，包括加熱/冷卻晶圓卡盤，標(biāo)準(zhǔn)或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺分度，為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟(jì)高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動探針臺有三種選擇（標(biāo)準(zhǔn)，高精度和高速）。
LCS-4000系列分析探針臺配有激光切割系統(tǒng) 帶有集成激光切割系統(tǒng)的LCS-4000探針臺為用戶提供了半導(dǎo)體診斷切割，失效分析，修整，標(biāo)記和頂層去除的大靈活性。所有這些功能都可以在微觀層面上進(jìn)行，所有這些都在這一系統(tǒng)上進(jìn)行，這提供了非常易于使用的高水平性能。
A4P四點(diǎn)探針自動電阻率測繪系統(tǒng) A4P系列晶圓電阻率映射器使用經(jīng)過驗(yàn)證的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，可以快速，準(zhǔn)確，可靠地測量樣品電阻率分布。MicroXact的四點(diǎn)探針通過使電流通過四點(diǎn)探頭的外部點(diǎn)并測量內(nèi)部點(diǎn)的電壓來測量半導(dǎo)體晶圓層的平均電阻。然后可以通過將薄層電阻乘以薄膜的厚度來找到電阻率的值，即賦予其電阻的材料的性質(zhì)。
ossila四點(diǎn)探針臺是一款易于使用的工具，用于快速測量材料的薄層電阻，電阻率和電導(dǎo)率。 通過使用我們自己的源測量單元，我們能夠創(chuàng)建一個(gè)低成本的系統(tǒng)，使測量范圍更廣泛。 探頭采用彈簧加載接觸，而不是尖銳的針頭，防止損壞精密樣品，如厚度在納米左右的聚合物薄膜。
經(jīng)濟(jì)高效，穩(wěn)定，可靠，方便的改善在極低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內(nèi)置振動隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，*密封性，使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應(yīng)用，如石墨烯的研究，分子電子學(xué)等的，系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機(jī)和專有的熱管理，可以經(jīng)濟(jì)快速的操作。內(nèi)置的隔振Z小化振動符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。超穩(wěn)定的微操縱滿足設(shè)備探針*的準(zhǔn)確和可重復(fù)的接觸。
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