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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 探針臺 > MicroXact探針臺 > SPS系列MicroXact標(biāo)準(zhǔn)半自動探針臺
簡要描述：MicroXact的半自動探針臺提供多種選擇，包括加熱/冷卻晶圓卡盤，標(biāo)準(zhǔn)或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺分度，為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動探針臺有三種選擇（標(biāo)準(zhǔn)，高精度和高速）。
產(chǎn)品型號：SPS系列 廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-07-01訪 問 量：2039產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
XY平臺和壓板的精密電機控制。還可提供額外的預(yù)載滑塊，以便于裝載和卸載晶圓或樣品。
光滑的粉末涂層鋼板可容納多達10個磁性或真空定位器。
通過位于站兩側(cè)的終端隔離饋通，可以方便地連接微定位器，可以為BNC，Triax或Banana插頭連接進行定制。
標(biāo)準(zhǔn)吊桿安裝組件，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位。
可用的RF選項包括可定制的RF探頭，RF偏置卡盤和屏蔽罩。
高分辨率復(fù)合顯微鏡。
偏光顯微鏡。
廣泛的相機選擇。
射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。
拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。
超*真空泵。
標(biāo)準(zhǔn)半自動化系統(tǒng)
電動XY夾頭，SPS-2600中的電動壓板，SPS 2800中卡盤的電動Z軸運動，標(biāo)準(zhǔn)配置。Motorized theta是一種選擇。
基于步進電機，無編碼器。
成本競爭力
強烈推薦用于需要低于0°C的測試或屏蔽的應(yīng)用
可用選項：加熱或冷卻卡盤，變焦鏡或復(fù)合顯微鏡，各種屏蔽，用于直流和射頻測量的卡盤選擇等等
型號 | SPS-2800 | SPS-2600 | |
晶圓尺寸 | 高達200mm | 高達100mm | |
電機類型 | 步進電機 | ||
XY舞臺行程 | 高達200mmx200mm | 高達125mmx125mm | |
XY舞臺分辨率 | 電動，6.5μm重復(fù)性 | ||
顯微鏡 | 高品質(zhì)立體聲變焦，工作距離可達200??mm，放大倍率范圍為3.5X至180X | ||
饋通終端 | BNC，Triax或香蕉插頭 | ||
系統(tǒng)尺寸 | 122厘米寬x122厘米深x 92厘米高 | 78厘米寬x80厘米深x 58厘米高 | |
產(chǎn)品咨詢
聯(lián)系人：鄧經(jīng)理
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