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介紹：M-HP熱板 200用于烘烤和回火加熱晶圓片或基板。該熱板適用于直徑大為8英寸的晶圓片或大6英寸 x6英寸的襯底。內(nèi)置模塊可輕松用于濕式工作臺。工藝參數(shù)（溫度，加熱時間）可以隨時更改。 熱板溫度可在20°C和250C之間調(diào)節(jié)。可在1到999秒之間設(shè)置處理時間。
聯(lián)系人：鄧經(jīng)理
地址：洪山區(qū)珞獅南路147號未來城A棟
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